技術(shù)編號:8057030
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型屬于物質(zhì)生長爐領(lǐng)域,尤其是一種用于生長LED燈用藍寶石的寶石爐。背景技術(shù)目前,氧化物人工晶體在現(xiàn)代科技產(chǎn)品的運用十分重要,以單晶藍寶石晶體運用于光電產(chǎn)業(yè)的發(fā)光二極管(LED)為例,氮化鎵(GaN)的材料研究也已超過二十年,但一直因為沒有晶格常數(shù)配合的基板,所以晶體生長不好,現(xiàn)有的技術(shù)生產(chǎn)藍寶石基板的主要關(guān)鍵技術(shù)在于在高溫中將氧化鋁粉末熔化及生長晶體,而常用藍寶石長晶所使用的高溫燒結(jié)爐,需要導入不同的惰性氣體于氣氛爐內(nèi)燒結(jié),所以燒結(jié)制程關(guān)系到藍寶石晶體質(zhì)量的好壞,常用的氣氛爐由于爐內(nèi)溫度控制不穩(wěn)定,...
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