技術編號:8054865
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型屬于半導體照明技術領域,特指一種圖形化襯底的結(jié)構,另外本實用新型還公開一種采用該襯底的發(fā)光二極管芯片。背景技術以III-V族氮化鎵(GaN)為代表的氮化物化合物半導體,如氮化鎵(GaN)、氮化鋁 (AlN)、氮化銦αηΝ)、氮化鋁鎵(AWaN)、氮化鎵銦(InGaN)、氮化鋁銦(AlInN)或氮化鋁鎵銦(AKialnN)等在紫外/藍光/綠光發(fā)光二極管、激光器、太陽光盲紫外光電探測器以及高頻、高溫大功率電子器件等諸多領域有著重要而廣泛的應用。目前藍寶石襯底是氮化物進行異質(zhì)外延生長最為常用的襯底。由于...
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