技術(shù)編號：8054216
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及硅單晶生產(chǎn)設(shè)備，具體為一種具有實(shí)時檢測硅單晶生長直徑功能的單晶爐。背景技術(shù)直拉法生產(chǎn)硅單晶已經(jīng)是該領(lǐng)域通用的一種技術(shù)手段，在此生產(chǎn)過程中，需要用到單晶爐，通常情況下，單晶爐包括有外殼、安裝在外殼中心的石墨坩堝、位于石墨坩堝內(nèi)的石英坩堝、位于石墨坩堝外圍的加熱電極和位于石英坩堝內(nèi)側(cè)的導(dǎo)流筒，生產(chǎn)過程中，石英坩堝內(nèi)的原料經(jīng)過加熱和局部冷卻并拉伸生長形成圓柱狀的硅單晶。傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的單晶爐基本可以實(shí)現(xiàn)硅單晶的生產(chǎn)，但是不能夠?qū)崟r檢測內(nèi)部硅單晶的生長直徑，需要進(jìn)一步改進(jìn)。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所解決的技術(shù)...
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