技術(shù)編號(hào)：8053918
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種可減少電弧石英坩堝內(nèi)表面質(zhì)量缺陷的石墨電極結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)電弧石英坩堝用于熔融硅拉制單晶硅，而單晶硅廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池等的單晶硅。采用切克勞斯基(Czochralski)法拉制單晶硅時(shí)，電弧石英坩堝被用于容納硅熔體。在此方法中，一粒具有預(yù)定取向的種晶被浸入熔體，然后緩緩拉出。種晶和熔體以不同方向旋轉(zhuǎn)。種晶和熔體之間的表面張力使得熔體隨種晶被拉出，所述熔體逐漸凝固，最終固化成一個(gè)不斷生長(zhǎng)的硅單晶。在石英坩堝的熔制過程中，由于電弧溫度很高，內(nèi)表面會(huì)被部分氣化，產(chǎn)生二氧化硅蒸汽，這些氣...
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