技術(shù)編號：8053574
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及。背景技術(shù)在砷化鎵單晶生長過程中，單晶尾部化學(xué)計量比會發(fā)生偏移，產(chǎn)生單晶尾料。在合成過程中也存在同樣情況，有合成尾料。晶片加工過程中也有碎片和廢料。在單晶生長過程中，偶爾也有漏氣或因停電引起的多晶料，上述晶料不能直接投入單晶生長過程，需要將其重新溶化，重新凝固。電學(xué)參數(shù)(載流子濃度和遷移率)測試合格后即可投入單晶生長。以上這種將砷化鎵多晶料和廢料重新溶化和重新凝固的方法稱之為砷化鎵多晶鑄錠。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供，該方法可將合成尾料、單晶尾料以及單晶生長過程中，偶爾也有漏氣或因停電引起的多晶料...
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