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一種提高GaN基LED發(fā)光效率的外延方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8050868

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及GaN基材料的外延生長,尤其涉及GaN基藍(lán)綠光發(fā)光二極管的外延生長。背景技術(shù)發(fā)光二極管(LED,Light Emitting Diode)具有長壽、節(jié)能、環(huán)保、可靠性高等優(yōu)點(diǎn),并且近年來,LED在大屏幕彩色顯示、交通信號(hào)燈和照明等領(lǐng)域發(fā)揮了越來越重要的作用。但要在全彩屏顯示和照明領(lǐng)域發(fā)揮更大的作用,LED的亮度還有待進(jìn)一步的提升。目前絕大多數(shù)GaN基藍(lán)綠光LED都是采用金屬有機(jī)化合物氣相沉積方法(M0CVD Metal-Organic Chemical Vapor D印osition)異質(zhì)外延生長...
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