技術(shù)編號(hào)：8050476
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及直拉重?fù)搅讍尉У纳a(chǎn)方法，特別涉及。背景技術(shù)直拉重?fù)焦鑶尉前雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的一種不可缺少的基礎(chǔ)材料，需要生產(chǎn)大量的直拉重?fù)絾尉АＳ捎诹兹埸c(diǎn)、沸點(diǎn)都很低，在高溫的硅熔體中會(huì)不斷揮發(fā)，因而直拉重?fù)搅讍尉У纳a(chǎn)過程中，需要摻入大量的單質(zhì)磷。摻雜之后，在單晶的拉制過程中，磷蒸汽不斷從硅熔體中揮發(fā)出來，并隨著Ar氣排除爐體。由于爐壁和管道等部位溫度較低，所以磷蒸汽在這些地方不斷沉積。冷卻停爐后，在清爐過程中，爐壁、管道等部位的磷單質(zhì)暴露在空氣中，極易與氧氣反應(yīng)自燃，進(jìn)而發(fā)生連鎖反應(yīng)而爆炸，對(duì)員工人身安全造成了極...
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