技術(shù)編號(hào):8048051
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種半導(dǎo)體級(jí)單晶硅生產(chǎn)工藝。 背景技術(shù)單晶娃,又稱單晶硅,是一種半導(dǎo)體材料。近幾年來(lái),隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,單晶硅又被用來(lái)制作太陽(yáng)能電池,呈現(xiàn)出供不應(yīng)求的局面。隨著高科技的發(fā)展,生產(chǎn)近乎完美的高質(zhì)量單晶硅,是每一個(gè)材料廠家、器件廠家的共同愿望,這種單晶硅具有良好的斷面電阻率均勻性、高壽命、含碳量少、微缺陷密度小、含氧量可以控制的特點(diǎn)。目前,生產(chǎn)單晶硅的方法有直拉法、區(qū)熔法、基座法、片狀生長(zhǎng)法、氣相生長(zhǎng)法、外延法等,其中基座法、片狀生長(zhǎng)法、氣相生長(zhǎng)法和外延法都因各自的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。