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用于加熱元件線圈的支撐結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8047624

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技術(shù)領(lǐng)域本公開涉及一種用于線圈式加熱元件的支撐結(jié)構(gòu)。特別地,本公開涉及一種具有協(xié)作配對(duì)特征部并且被以豎直堆疊方式布置的間隔器,其在加熱元件的熱膨脹期間維持加熱元件線圈的共線性、同心性和對(duì)中性中的一種或者多種特性。本公開還涉及一種包括這種間隔器的支撐結(jié)構(gòu),例如在用于加工半導(dǎo)體構(gòu)件的熔爐中的支撐結(jié)構(gòu),并且涉及一種利用這種間隔器支撐線圈式加熱元件的方法。背景技術(shù)在下面的背景技術(shù)中,對(duì)于特定結(jié)構(gòu)和/或方法進(jìn)行參考。然而,以下參考不應(yīng)該被理解為承認(rèn)這些結(jié)構(gòu)和/或方法構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。申請(qǐng)人特意地保留論證這種結(jié)構(gòu)和/或方法并不具有...
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