技術(shù)編號(hào):8047624
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本公開涉及一種用于線圈式加熱元件的支撐結(jié)構(gòu)。特別地,本公開涉及一種具有協(xié)作配對(duì)特征部并且被以豎直堆疊方式布置的間隔器,其在加熱元件的熱膨脹期間維持加熱元件線圈的共線性、同心性和對(duì)中性中的一種或者多種特性。本公開還涉及一種包括這種間隔器的支撐結(jié)構(gòu),例如在用于加工半導(dǎo)體構(gòu)件的熔爐中的支撐結(jié)構(gòu),并且涉及一種利用這種間隔器支撐線圈式加熱元件的方法。背景技術(shù)在下面的背景技術(shù)中,對(duì)于特定結(jié)構(gòu)和/或方法進(jìn)行參考。然而,以下參考不應(yīng)該被理解為承認(rèn)這些結(jié)構(gòu)和/或方法構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。申請(qǐng)人特意地保留論證這種結(jié)構(gòu)和/或方法并不具有...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。