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多晶硅鑄錠免噴涂熔融石英坩堝的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8046131

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于石英坩堝制造領(lǐng)域,具體涉及一種用于多晶硅鑄錠的免噴涂熔融石英坩堝的制造方法。背景技術(shù)太陽(yáng)能多晶硅的迅猛發(fā)展,大大加快了多晶硅熔融鑄錠所使用的熔融石英坩堝的研究發(fā)展。行業(yè)內(nèi)由于坩堝成品率的問題,目前所生產(chǎn)的石英坩堝大多是未噴涂的,使用者在用這種坩堝時(shí)必須自備噴涂設(shè)備,在成品坩堝內(nèi)部噴上一層氮化硅涂層,然后在1000°c 以上燒結(jié)24個(gè)小時(shí)以上才能開始裝入純硅料進(jìn)行使用。市場(chǎng)上也有少量免噴涂石英坩堝, 但這只是在坩堝生產(chǎn)后繼續(xù)噴涂并燒結(jié),工藝并沒有改變,而且這種工藝生產(chǎn)周期長(zhǎng),耗能巨大。現(xiàn)行坩堝生產(chǎn)中...
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