技術(shù)編號：8046123
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種MZ軸貼片系統(tǒng)，其用于微型裝置的選擇和安裝，例如半導(dǎo)體、 LED以及光學(xué)元件，特別是涉及一種帶有減少移動質(zhì)量的直驅(qū)XYZ軸定位系統(tǒng)。背景技術(shù)直驅(qū)執(zhí)行器(例如直線電機)近年來已經(jīng)得到普及，特別是用于制造電子元件和半導(dǎo)體的設(shè)備。眾所周知，采用直驅(qū)的優(yōu)勢是高加速度，高速度，高精度，減少移動質(zhì)量，沒有復(fù)雜傳輸系統(tǒng)的簡化設(shè)計，同時移動部件與傳輸機制也沒有任何磨損和裂縫，具有較好的可靠性。然而，效果不太明顯或不太注意的一個優(yōu)點就是通過使用直驅(qū)增加了運動系統(tǒng)的剛性。沒有傳輸裝置例如滾珠絲桿，皮帶或者聯(lián)軸器，...
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