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帶有減少移動(dòng)質(zhì)量的直驅(qū)貼片系統(tǒng)及其實(shí)現(xiàn)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8046122

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種,其用于微型裝置的貼片,例如半導(dǎo)體IC封裝或者光學(xué)器件。背景技術(shù) 貼片系統(tǒng)在全世界被廣泛的使用在自動(dòng)化應(yīng)用上。許多不同類型的貼片系統(tǒng),其中大部分被設(shè)計(jì)成非常具體的應(yīng)用。貼片系統(tǒng)的基本功能是來從一個(gè)位置取并準(zhǔn)確地放置在另一個(gè)位置上。大部分常見的貼片應(yīng)用包括一個(gè)垂直運(yùn)動(dòng)的軸(Z方向運(yùn)動(dòng)),它由像在 XY平臺(tái)里另一個(gè)X軸或者/和Y軸攜帶著。在應(yīng)用中,包含微型裝置的貼片,這里也需要增加一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(Theta軸)。Z軸運(yùn)動(dòng)需要拾起一個(gè)零件放置在另一個(gè)位置。Theta軸運(yùn)動(dòng)需要旋轉(zhuǎn)零件到正確的方向。放置...
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