技術(shù)編號：8045020
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及晶錠的制造領(lǐng)域，尤其涉及。背景技術(shù)在現(xiàn)有的制造硅晶錠的設(shè)備或者系統(tǒng)中，由于用于生產(chǎn)硅晶錠(包括多晶硅錠和單晶硅錠)的原料為塊狀或顆粒狀，料塊之間存在大量縫隙，導(dǎo)致裝滿石英坩堝的固態(tài)多晶硅給料熔化后體積大幅縮小?？紤]到生產(chǎn)周期、成本等，希望每次盡可能的多裝料。圖I為現(xiàn)有技術(shù)的晶錠爐在裝料時的結(jié)構(gòu)示意圖。現(xiàn)有技術(shù)的晶錠爐包括上爐體101';與所述上爐體101'相配合的下爐體102';設(shè)置在所述下爐體102'內(nèi)的坩堝保持器5'和坩堝保持器5'內(nèi)設(shè)置的石英坩堝2'。此外，為了防止生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的多種揮發(fā)物...
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