技術(shù)編號(hào)：8040622
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)技術(shù)，尤其涉及一種太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中三氯氧磷 的自動(dòng)補(bǔ)液裝置。背景技術(shù)在制作太陽(yáng)能電池PN結(jié)時(shí)，通常用保護(hù)性氣體(氮?dú)?通過(guò)恒溫的三氯氧磷液態(tài) 源瓶鼓泡或吹過(guò)表面，把雜質(zhì)源蒸汽帶入高溫?cái)U(kuò)散爐中，經(jīng)高溫?zé)嵬杵砻娣磻?yīng)生成磷 原子，并向硅片內(nèi)擴(kuò)散摻雜而形成PN結(jié)。三氯氧磷(PoC13)屬于液態(tài)磷源，在常溫下就有 較高的飽和蒸汽壓，因此源瓶?jī)?nèi)的三氯氧磷液面會(huì)不斷下降。當(dāng)液面下降到較低位置時(shí)，爐 口和爐尾的硅片擴(kuò)散的均勻性會(huì)有較大的差異，這種不均勻性對(duì)能量轉(zhuǎn)換效率有直接的影 響，需要嚴(yán)格...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。