技術(shù)編號：8040469
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種直拉單晶爐用石墨坩堝，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。 背景技術(shù)單晶硅作為一種半導(dǎo)體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件，單晶硅的 生長技術(shù)有兩種區(qū)熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。直拉法拉制單晶硅 需要在一整套的熱系統(tǒng)中進(jìn)行，在拉制過程中處于低真空狀態(tài)，且不斷向單晶爐內(nèi)充入惰 性保護(hù)氣體以帶走由于單晶硅體從溶液結(jié)晶時散發(fā)的結(jié)晶潛熱和硅溶液揮發(fā)的一氧化硅 顆粒，然后從單晶爐的真空抽口由真空泵排出。目前普遍采用的石墨坩堝均為三瓣結(jié)構(gòu)，各 瓣的接縫處存在一定的縫隙，在真空泵往外排...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。