技術(shù)編號：8040191
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及，具體地說，涉及一種利用單晶爐提 4立法純化^圭的方法。背景技術(shù)國際上電子級高純(> 11 N)晶體硅原料制備的主流技術(shù)是西門子法， 即三氯氫硅(S iHC13)還原法和硅烷(S iH4)熱分解法，該工藝利用干燥氯化 氫在沸騰床中與冶金硅粉反應(yīng)Si(s)+3HCl(g) =SiHCl3(g)+H2(g)(放熱), 生成的SiHCl3與PCh和BCl3在相對揮發(fā)度上有較大差異(它們的沸點分 別為31.8。C, 74。C和13。C),能有效地用精餾提純。最后在110(TC用H2 還原SiHCh,...
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