技術(shù)編號：8035783
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及坩堝法生長晶體爐子裝置的改進機構(gòu)，更具體地說是直拉硅單晶 棒生長爐子中加熱器的一種支撐腳改良結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)半導體硅單晶及太陽能硅單晶大部份均用切克勞斯基(Czochralski)法制造。這 種方法制取的設備是單晶爐。單晶爐中按裝一個加熱器，在加熱器的中間按裝石墨坩堝托 及內(nèi)裝一個石英坩堝，將多晶硅放入石英坩堝內(nèi)，關(guān)閉爐體抽空、升溫化料，硅料全部熔化， 坩堝在加熱器中間轉(zhuǎn)動，保持熔硅溫度均勻，將硅料降溫使熔體中心達到一定的固冷度，從 上軸插入一根與坩堝反方向旋轉(zhuǎn)籽晶(有特定晶向的小單晶體)，通過...
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