技術(shù)編號：8034239
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬晶體的熱處理領(lǐng)域，涉及晶體的高溫退火以及熱處理，具體地說是涉及中性氣氛、惰性氣氛及其兩者混合氣氛中晶體的退火方法和熱處理方法。背景技術(shù) 當(dāng)今，生長晶體的技術(shù)有感應(yīng)加熱提拉法(即引上法)，泡生法，電阻加熱提拉法，導(dǎo)向溫梯法(即導(dǎo)向溫度梯度法、簡稱溫梯法)，熱交換法等，上述方法的晶體生長都是以固-液界面的溫度差推動結(jié)晶面形成的結(jié)晶過程，易產(chǎn)生晶格點缺陷及引入周圍的氣氛污染，嚴(yán)重影響晶體性能。故生長后的晶體毛坯，基本上都須經(jīng)過高溫退火處理，這是晶體界人人皆知的基本常識，以往的晶體退火，通常采用在氧化氣氛(...
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