技術(shù)編號：8030736
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工業(yè)中對機(jī)臺進(jìn)行故障檢修或者定期維護(hù)時(shí)，用熱電阻溫度檢測器晶片測量調(diào)整熱板溫度的過程，尤其涉及一種用于放置熱電阻溫度檢測器晶片于熱板上的高溫晶片夾持器。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體制程的許多應(yīng)用中，溫度都是必須監(jiān)測和控制的關(guān)鍵參數(shù)，例如在光刻制程中使用的Track Act-8，Mk-8等機(jī)臺，它們可以用于光刻制程中的光刻膠涂布，顯影或者微影制程的烘烤等步驟，這些機(jī)臺在進(jìn)行故障檢修或者定期維護(hù)的時(shí)候，會使用到熱電阻溫度檢測器(RTD，resistance temperature detector)晶片，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。