技術(shù)編號：8030492
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種膜圖案形成方法、采用該膜圖案形成方法所制造的膜圖案、抗蝕劑膜、以及絕緣膜，還設(shè)計具備該膜圖案、抗蝕劑膜、以及絕緣膜中的某一種的電路基板、半導(dǎo)體裝置、表面彈性波設(shè)備、表面彈性波振蕩裝置、電光學(xué)裝置以及電子機(jī)器。背景技術(shù) 以往，在基板上已知有，對配置了由導(dǎo)體構(gòu)成的膜圖案(以下稱作“布線膜”)的電路布線、和覆蓋布線膜的絕緣膜等膜圖案進(jìn)行層疊而形成的半導(dǎo)體裝置，或電路基板、表面彈性波設(shè)備等。并且，在制造這些裝置的過程中，已知形成抗蝕劑膜等的膜圖案而使用。作為膜圖案的有效形成方法，如專利文獻(xiàn)1所記載，從...
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