技術編號:8030070
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及控制了結晶性的氧化鎂(MgO)單晶及其制造方法、由結晶性被控制的MgO單晶得到的MgO單晶基板、以及使用該MgO單晶基板的超導裝置。背景技術 MgO單晶在用于制造氧化物超導體薄膜用基板、氧化物介電薄膜用基板、高熱傳導性基板、光學透鏡、紅外線透射用窗材、等離子體顯示面板(PDP)保護膜等所使用的蒸鍍、濺射等的靶材等寬范圍的用途中被利用。尤其是MgO單晶與氧化物超導體的晶格匹配性良好,熱膨脹率也同等,并且介電常數(shù)低,因此,近年來作為被用于高頻裝置的氧化物超導體薄膜用基板受到關注。由于MgO的蒸氣壓高,...
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