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結晶性被控制的氧化鎂單晶及其制造方法以及使用該單晶的基板的制作方法技術資料下載

技術編號:8030070

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技術領域本發(fā)明涉及控制了結晶性的氧化鎂(MgO)單晶及其制造方法、由結晶性被控制的MgO單晶得到的MgO單晶基板、以及使用該MgO單晶基板的超導裝置。背景技術 MgO單晶在用于制造氧化物超導體薄膜用基板、氧化物介電薄膜用基板、高熱傳導性基板、光學透鏡、紅外線透射用窗材、等離子體顯示面板(PDP)保護膜等所使用的蒸鍍、濺射等的靶材等寬范圍的用途中被利用。尤其是MgO單晶與氧化物超導體的晶格匹配性良好,熱膨脹率也同等,并且介電常數(shù)低,因此,近年來作為被用于高頻裝置的氧化物超導體薄膜用基板受到關注。由于MgO的蒸氣壓高,...
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