技術(shù)編號：8029345
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。背景技術(shù) 半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的特征在于極其潔凈的環(huán)境和極其精密的半導(dǎo)體晶片移動。工業(yè)上廣泛依賴于高精密度的機器人系統(tǒng)來以必需的精密度，在半導(dǎo)體處理系統(tǒng)內(nèi)相對于各種處理臺移動諸如半導(dǎo)體晶片之類的基片。這種機器人系統(tǒng)的可靠且有效的操作取決于元件的精密定位、對準和/或平行。準確的晶片定位使晶片偶然擦過晶片處理系統(tǒng)的壁面的機會最小化?？梢砸笤谔幚硎业奶幚淼鬃系臏蚀_晶片定位，以便優(yōu)化該工藝的產(chǎn)量。半導(dǎo)體處理系統(tǒng)內(nèi)的表面之間的精確平行對于確保在從機器人末端效應(yīng)器傳送到晶片承載架、預(yù)對準真空吸盤、裝卸用閘室(load lock)...
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