技術(shù)編號：8024066
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及真空技術(shù)、晶體生長技術(shù)和計算機控制技術(shù)，是一種特別適用于半導體襯底晶體材料藍寶石生長的真空系統(tǒng)及其計算機控制系統(tǒng)。半導體實現(xiàn)大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)的工藝要求必須有優(yōu)質(zhì)的潔凈環(huán)境和高精度的控制技術(shù)，這對真空系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)提出了極高的要求?，F(xiàn)有晶體生長設(shè)備目前普遍使用的是油擴散泵和普通機械泵構(gòu)成抽真空系統(tǒng)，這種真空系統(tǒng)存在如下不足1、由于油擴散泵的使用易造成對晶體生長過程中的污染。即在抽真空過程中，擴散泵油氣體存在于真空室內(nèi)，油在高溫中分解成為碳，造成污染。2、普通機械泵的振動對晶體生長的過程不利。3...
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