技術(shù)編號(hào)：8020662
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及用在半導(dǎo)體器件制造過程中的燈管退火爐或燈管退火設(shè)備，特別涉及用燈管退火爐退火處理半導(dǎo)體晶片時(shí)，對(duì)半導(dǎo)體晶片的溫度的控制。借助于附圖，我們來描述普通燈管退火設(shè)備或燈管退火爐。如圖6所示，普通燈管退火爐包括對(duì)放在其內(nèi)的晶片進(jìn)行退火的用石英做成的腔室1，置于腔室1上方且產(chǎn)生紅外輻射的燈管2，放在腔室1下用于測(cè)量被燈管2加熱的晶片的溫度的高溫計(jì)，和腔室1內(nèi)用于支撐晶片4的支撐部件5。普通燈管退火爐是一片一片進(jìn)行處理的單片退火設(shè)備。在這種設(shè)備中，為進(jìn)行退火，首先把晶片4放在腔室1中的支撐構(gòu)件5上。然后，給燈...
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