技術(shù)編號(hào)：80130
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明屬于微細(xì)加工技術(shù)領(lǐng)域，更進(jìn)一步涉及一種用投影成像無(wú)掩模曝光技術(shù)和一種用投影反射成橡無(wú)掩模曝光技術(shù)，制造圓環(huán)形單層或多層載電流線圈。目前，用于制造圓環(huán)形載電流線圈的是激光束燒蝕、機(jī)械旋轉(zhuǎn)進(jìn)給技術(shù)。如日本專利公開的特許公報(bào)(A)平1-313916。其缺點(diǎn)是工件需要機(jī)械運(yùn)動(dòng)，難以在長(zhǎng)期工作中保證精度。日本專利公開特許公報(bào)A昭62-247514公開的制造圓柱形載電流線圈，采用的是有掩模曝光技術(shù)，由于掩模直接與工件接觸，容易污染損壞掩模。利用上述技術(shù)也可以制造多層圓柱形載電流圈，如日本專利，公開特許公報(bào)(A)平1-3...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。