技術(shù)編號:8010743
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種金屬的熱化學(xué)處理方法,是將材料沉積于待處理的基底上。本發(fā)明特別涉及一種物理汽相沉積(PVD)法,其中,構(gòu)成離子轟擊處理蒸發(fā)器第一電極的靶的物質(zhì)被汽化,由此得到的粒子沉積于構(gòu)成第二電極的基底上,第二電極相對第一電極有一電位差。當(dāng)然,在這一過程,通過由在蒸發(fā)器內(nèi)部采用加熱裝置或粒子轟擊,甚至兩種方法結(jié)合使用所產(chǎn)生的熱量來把基底加熱至處理溫度。至今,這一處理溫度均維持在500℃數(shù)量級的特定閥值以下,以免超過淬火鋼的回火溫度并防止被處理部分的機(jī)械特性(硬度,抗張強(qiáng)度等)變壞,就如同一旦超過這個(gè)溫度時(shí)所...
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