技術(shù)編號(hào)：8006870
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及液相薄膜生長技術(shù)，特別涉及一種采用液相外延法制備膜 的方法。背景技術(shù)液相外延法(Liquid Phase Epitoxy， LPE)制備膜是一種重要的液相 薄膜生長技術(shù)，與固相成膜技術(shù)不同，LPE薄膜生長時(shí)其生長的原料在高 溫熔化，呈熔融狀態(tài)，這樣產(chǎn)生的好處是熔體中原料各組份可以在熔體中 充分混合均勻，通過選擇合適的襯底，可以獲得高質(zhì)量甚至單晶薄膜。這 種方法適用于生長組成復(fù)雜的固相成膜法難以均勻生長的膜。LPE薄膜生長方法主要有垂直浸漬方法和小舟法。垂直浸漬LPE薄膜生長方法的典型過程為首先在熔...
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