技術(shù)編號：7994109
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要一種MEMS麥克風(fēng)，其具有包括背板的靜止部和膜片，所述背板具有多個開口，所述膜片與所述背板間隔開且具有外周緣。作為電容式麥克風(fēng)，膜片和背板形成可變電容器。麥克風(fēng)還具有在背板與膜片之間延伸且實質(zhì)上永久性地與之連接的柱體和將膜片緊固到柱體和靜止部的至少其中之一的一組彈簧。該柱體定位于膜片外周緣的徑向內(nèi)部。專利說明具有彈簧和內(nèi)部支承件的MEMS麥克風(fēng) 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本發(fā)明一般涉及MEMS裝置，更具體地來說，本發(fā)明涉及MEMS麥克風(fēng)。 背景技術(shù) [0002]MEMS電容式麥克風(fēng)典型地具有膜片，該膜片...
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