技術(shù)編號：7965474
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種材料處理系統(tǒng)，具體地說，本發(fā)明涉及一種在材料處理系統(tǒng)中所使用的點對點通訊方案，提供內(nèi)部噪音免疫數(shù)據(jù)通訊。背景技術(shù) 材料處理，例如通過利用等離子體的等離子沉積和濺射已經(jīng)眾所周知多年了。這些處理通常要求生成與等離子體腔耦合的RF或高壓DC功率信號。生成功率信號通常需要斬波和整流相對高的電壓例如270伏DC。斬波和整流過程生成寄生的亂真的電場和磁場，所述電場和磁場與附近的電路耦合，導(dǎo)致相對高的電噪音環(huán)境。與電路耦合的寄生的亂真的場導(dǎo)致信號質(zhì)量惡化，引起可能的數(shù)據(jù)不純。由于高速通訊所需的相對低的信號振...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。