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    微機(jī)電換能器及對(duì)應(yīng)組裝工藝的制作方法技術(shù)資料下載

    技術(shù)編號(hào):7915282

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    技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))類型的換能器以及對(duì)應(yīng)組裝工藝,該換能器具體而言是電容性麥克風(fēng),對(duì)該換能器的后繼處理將做出明確引用,而這并不暗含的任何的普遍性(generality)喪失。背景技術(shù)如本技術(shù)領(lǐng)域通常那樣,術(shù)語(yǔ)“封裝體”在此用于指代作為整體的外殼或覆蓋結(jié)構(gòu),其整體地或部分地包圍構(gòu)成聲換能器的半導(dǎo)體材料的裸片或劃片,從而實(shí)現(xiàn)其到外部的電連接(具體而言,連接至對(duì)應(yīng)電子器件的印刷電路)。 眾所周知,例如電容性類型的MEMS麥克風(fēng)之類的聲換能器一般包括被設(shè)計(jì)用于將聲壓波轉(zhuǎn)換成電學(xué)量(具體是電容性變化)微...
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