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固體攝像裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:7909472

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技術領域本發(fā)明關于一種EM-C⑶等的電荷倍增型固體攝像裝置。 背景技術CCD (Charge Coupled Device,電荷耦合組件)作為用于拍攝入射光的像的固體攝像裝置已廣為人知,而CXD之中,已知有可拍攝微弱光的像的EM-CXD (EIectron Multiplying-C⑶,電子倍增電荷耦合組件)。這種固體攝像裝置,除具備多個光電二極管等生成對應于入射光量的電荷的攝像區(qū)域、讀取攝像區(qū)域的電荷的輸出寄存器部外,還具備倍增所讀取的電荷的倍增寄存器部,通過使用倍增寄存器部的電荷倍增作用使微弱光的像的拍攝成為可...
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