技術(shù)編號:7847087
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種聲音傳感器和麥克風(fēng)。本發(fā)明特別地涉及一種運(yùn)用微電子機(jī)械系統(tǒng)MEMS (Micro Electro Mechanical System)技術(shù)或微機(jī)械技術(shù)制造的電容型聲音傳感器。本發(fā)明更進(jìn)一步地涉及一種使用該聲音傳感器的麥克風(fēng)。背景技術(shù)麥克風(fēng)在多種設(shè)備上都有應(yīng)用,諸如移動電話和集成電路(IC)錄音機(jī)。裝備在這種麥克風(fēng)里聲音傳感器要求有改良的信噪比和減小的尺寸。 作為提高聲音傳感器信噪比的方法,首先,得有一種提高這種聲音傳感器靈敏度的方法。為了提高這種電容型聲音傳感器的靈敏度,可采用的方法一種是加寬...
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