技術(shù)編號：7831111
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利摘要本實用新型提供一種電容式微硅麥克風(fēng)及其制造方法。所述電容式微硅麥克風(fēng)包括襯底、設(shè)置在襯底正面的第一絕緣支撐層、形成在所述第一絕緣支撐層上方的可動敏感層、設(shè)置在可動敏感層上方的背極板?？蓜用舾袑影ㄅc背極板間隔設(shè)置的振動體。所述襯底和第一絕緣支撐層形成有自襯底的背面朝正面方向凹陷以露出所述振動體的背腔。所述可動敏感層還具有若干設(shè)置在振動體周圍并固定在背極板和襯底之間的錨點、連接錨點和振動體并向下暴露于背腔內(nèi)的柔性梁以及連接在錨點外側(cè)的壓焊點。所述第一絕緣支撐層還包括自背腔向外繼續(xù)延伸的延伸腔，所述電容式微硅麥...
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