技術(shù)編號：7566159
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)投影系統(tǒng)，較具體地說，涉及用于這種系統(tǒng)的一種M×N薄膜可驅(qū)動反射鏡陣列及其制造方法。 在本內(nèi)可獲得的各種視像顯示系統(tǒng)中，已知光學(xué)投影系統(tǒng)能夠以大尺度給出高質(zhì)量的顯示。在這種光學(xué)投影系統(tǒng)中，來自光源的光均勻地照明在一個例如M×N的可驅(qū)動反射鏡陣列上，其中各個反射鏡都與相應(yīng)的各個驅(qū)動器相耦合。驅(qū)動器可以用象壓電材料或電致伸縮材料那樣的電致位移材料做成，這種材料在對施加于其上的電場作出響應(yīng)時將發(fā)生形變。從各個反射鏡反射的光束入射到例如一個光學(xué)擋板的...
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