技術(shù)編號:7554935
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及電聲產(chǎn)品,特別涉及一種MEMS麥克風(fēng)。背景技術(shù)隨著電子技術(shù)的快速發(fā)展,MEMS (微電子機械系統(tǒng))麥克風(fēng)以其體積小、便于SMT(表面貼裝技術(shù))安裝、耐高溫、穩(wěn)定性好、自動化程度高和適合大批量生產(chǎn)等優(yōu)點得到了越來越廣泛的應(yīng)用?,F(xiàn)有技術(shù)中的MEMS麥克風(fēng)通常包括外殼以及與外殼結(jié)合為一體的線路板,線路板上設(shè)有聲孔,在線路板的內(nèi)側(cè)對應(yīng)聲孔的位置設(shè)有MEMS芯片。MEMS芯片為背極板在上,膜片在下的結(jié)構(gòu),如圖7所示,包括基底31,基底31上設(shè)有膜片32,膜...
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