技術(shù)編號：7544611
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。復合基板(10)中，壓電基板(20)的接合面(21)成為部分平坦化凹凸面。該部分平坦化凹凸面的多個凸部(23)的頂端具有平坦部(25)，通過該平坦部(25)，壓電基板(20)與支持基板(30)直接鍵合。因此，將接合面(21)做成凹凸面(粗糙面)且具有平坦部(25)，由此能充分確保壓電基板(20)與支持基板(30)的接觸面積。由此，在接合壓電基板(20)與支持基板(30)的復合基板中，能夠?qū)⒔雍厦?21)粗糙化并進行直接鍵合。此外，能得到如下的彈性表面波器件...
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該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。