技術(shù)編號(hào):7541079
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。提供了具有基于納米級(jí)材料的溝道(例如,碳納米管或石墨烯溝道)的晶體管器件以及用于制造該器件的技術(shù)。在一個(gè)方面,提供了一種晶體管器件。該晶體管器件包括基底;基底上的絕緣體;嵌入絕緣體的局部底柵,其中該柵極的頂表面與絕緣體的表面基本共面;底柵上的局部柵極電介質(zhì);位于局部柵極電介質(zhì)的至少一部分之上的碳基納米結(jié)構(gòu)材料,其中該碳基納米結(jié)構(gòu)材料的一部分用作所述器件的溝道;以及在所述溝道的相對(duì)兩側(cè)上與所述碳基納米結(jié)構(gòu)材料的一個(gè)或多個(gè)部分接觸并用作所述器件的源區(qū)和漏區(qū)的導(dǎo)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。