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具有大壓電常數(shù)和高電阻率的V摻雜ZnO薄膜材料的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7534514

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本發(fā)明屬于新材料及制備,特別一種具有大壓電常數(shù)和高電阻率V摻雜 Zn0薄膜材料。背景技術(shù)聲表面波器件是一種重要的固體電子器件,具有優(yōu)異的信號處理能力,廣泛應(yīng) 用在移動通訊,電視廣播以及各類軍用雷達、通信系統(tǒng)中,具有巨大的市場需求和 廣闊的發(fā)展前景。隨著第三代移動通訊技術(shù)的發(fā)展,聲表面波器件的使用頻率不斷 提高,以高聲速的金剛石薄膜與具有壓電特性的ZnO薄膜結(jié)合發(fā)展出的新型聲表面波 器件成為人們研究的焦點之一,提高ZnO/Diamond結(jié)構(gòu)聲表面波器件的頻率...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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