技術編號：7530713
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的涉及振蕩器，特別是涉及基于MEMS諧振器的MEMS振蕩器。背景技術時鐘和振蕩器是所有電子系統(tǒng)的心臟，目前絕大多數(shù)高性能電子系統(tǒng)的時鐘都是由石英振蕩器提供，但石英晶體振蕩器為片外組元，不易于IC集成，不僅增加了集成成本，而且阻礙了系統(tǒng)的小型化。MEMS諧振器是使機械結構在其固有頻率振動。微納諧振器與IC電路集成，構成MEMS振蕩器。MEMS諧振器的頻率決定振蕩器的頻率?；贛EMS諧振器的振蕩器不僅具有高頻高Q，而且其制造工藝與IC技術兼容，可實現(xiàn)微...
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該類技術注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。