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半導體器件及其制造方法技術資料下載

技術編號:7519018

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本文討論的實施方案涉及。背景技術正在研究利用氮化物半導體的如高飽和電子速度、寬帶隙等特征來將其應用于高耐壓和高輸出功率半導體器件。例如,GaN是氮化物半導體中的一種,具有3. 4eV的帶隙, 其大于Si的帶隙(1.1eV)和GaAs的帶隙(1. 4eV),并且還具有高的擊穿電場強度。因此, GaN是用于在高電壓下操作并產生高輸出功率的電源半導體器件的有前途的材料。關于由氮化物半導體制成的器件,有大量關于場效應晶體管尤其是高電子遷移率晶體管(HEMT)的報道...
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