技術編號:7485935
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種風扇過濾單元控制模塊,特別是一種風扇過濾單元(Fan Filter Unit,F(xiàn)FU)用以控制三相三線的交流風扇組。背景技術于1999年9月1日公告的臺灣專利公報公告第368588號(半導體潔凈室風扇過濾器單元的驅動檢查系統(tǒng))發(fā)明專利,其揭示數(shù)個風扇過濾單元(FFU)、數(shù)個區(qū)域控制單元(Local Control Unit,LCU)及一繼電器控制單元(RelayControl Unit,RCU)。該風扇過濾單元及區(qū)域控制單元組成單元組群,...
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