技術編號：7474703
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及ー種微動微掃平臺，具體涉及ー種利用壓電陶瓷實現(xiàn)運動的ニ維解耦式微動微掃平臺。背景技術目前，傳統(tǒng)的微動平臺主要有兩種類型，ー種是利用導軌絲杠或其他ー維驅動搭建的串聯(lián)層疊式電動或手動平臺，主要缺點是設計復雜且笨重，不但降低了系統(tǒng)的剛度而且引入了許多位置誤差。另ー種是傳統(tǒng)的層疊式柔性鉸鏈平臺，主要缺點是串聯(lián)層疊機構會產生位置誤差傳遞實用新型內容本實用新型為解決傳統(tǒng)的掃描平臺設計運動單一，運動速度慢，產生位置誤差傳遞的問題，進而提出ー種利用壓電陶瓷實...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。