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Esd保護(hù)器件以及用于形成esd保護(hù)器件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7458018

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本發(fā)明涉及制造電子器件的方法,更具體地來(lái)說(shuō),涉及靜電放電(ESD)保護(hù)器件以及用于形成ESD保護(hù)器件的方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體集成電路(IC)工業(yè)經(jīng)歷了快速發(fā)展。IC材料和設(shè)計(jì)上的技術(shù)進(jìn)步造就了數(shù)代1C,每一代IC都比上一代IC具有更小以及更復(fù)雜的電路。這些電路對(duì)于靜電放電 (ESD)電流比較敏感。因此,就要利用ESD保護(hù)來(lái)防止和減小由ESD電流所導(dǎo)致的IC損壞。 傳統(tǒng)上,一些ESD保護(hù)器件具有寄生電容,該寄生電容大到足以顯著降低所保護(hù)的電路的射頻(RF)性能...
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