技術(shù)編號(hào):7456463
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及超聲波電動(dòng)機(jī)用振子,特別涉及在屈曲振動(dòng)和伸縮振動(dòng)的極化區(qū)域中分別獨(dú)立配置壓電振動(dòng)元件上的電極的方式的超聲波電動(dòng)機(jī)用振子。背景技術(shù)伴隨電子、信息技術(shù)的飛速發(fā)展,要求精密部件的進(jìn)一步微細(xì)化、高集成化,需要與納米級(jí)(10_9m)的檢查或超微細(xì)加工對(duì)應(yīng)的超精密定位裝置。并且,在醫(yī)療或生物研究中,基于蛋白質(zhì)或細(xì)胞的控制的應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)進(jìn)步,針對(duì)能夠進(jìn)行更加微細(xì)的區(qū)域中的定位的顯微鏡用工作臺(tái)的需求提高。進(jìn)而,近年來(lái),結(jié)合針對(duì)高精度化的要求,伴隨檢查、加工、測(cè)定...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。