技術(shù)編號(hào)：7439384
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)器件的操作。具體地，其涉及微機(jī)電系統(tǒng)器件中陣列元件的操作或驅(qū)動(dòng)。背景技術(shù) 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件可包括元件陣列，其中元件可通過操作電壓的應(yīng)用，操作于一個(gè)或多個(gè)被驅(qū)動(dòng)的和未被驅(qū)動(dòng)的狀態(tài)之間。根據(jù)具體的微機(jī)電系統(tǒng)器件，元件可包括干涉調(diào)制器(IMODs)，開關(guān)，紅外(IR)檢波器(detector)，等。在某些微機(jī)電系統(tǒng)器件中，有可能需要多個(gè)陣列，其中每個(gè)陣列只包括特定類型的元件，且其中每種元件類型需要不同的操作電壓。一個(gè)這樣的器件的例子...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。