技術(shù)編號(hào)：7425388
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一.所屬領(lǐng)域本發(fā)明屬于電子電路，涉及一種電源的驅(qū)動(dòng)電路，特別涉及一種等離子體輔助化學(xué)氣相沉積(PCVD)裝置中脈沖電源的驅(qū)動(dòng)電路。 二.背景技術(shù) 等離子體輔助化學(xué)氣相沉積(PCVD)裝置中電源的作用是在特定溫度的真空容器內(nèi)，充入某些工作氣體，由電源輸出的高壓加到容器內(nèi)的兩電極之間，使容器內(nèi)的氣體產(chǎn)生電離，從而為化學(xué)氣相沉積薄膜材料提供物質(zhì)準(zhǔn)備。目前，PCVD用電源逐漸由直流電源向脈沖電源過渡，但所用脈沖電源大多為斬波式脈沖電源，輸出脈沖電壓峰值低。近年來申...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。