技術(shù)編號：7425307
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及直線電機裝置領(lǐng)域，特別涉及一種大功率直線電機驅(qū)動器。 背景技術(shù)在光刻機中，直線電機驅(qū)動器用于驅(qū)動直線電機，帶動工件臺、掩模臺運 動。作為電機的驅(qū)動裝置，電機驅(qū)動器必須滿足高線性度、高分辨率、大功率、 寬頻帶等要求，才能保證電機的定位精度，進(jìn)而滿足光刻精度的要求。現(xiàn)有的直線電機驅(qū)動器主要有兩種，分別是線性功率放大驅(qū)動器和脈沖寬度調(diào)制驅(qū)動器。線性功率放大驅(qū)動器采用多個功率管并聯(lián)而成的OTL互補推挽 電路或OCL互補推挽電路。它的優(yōu)點主要是頻帶寬(通常...
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