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工業(yè)供電系統(tǒng)的模塊化結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7407660

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本發(fā)明一般意義上涉及工業(yè)供電系統(tǒng),特別涉及具有模塊化結(jié)構(gòu)的工業(yè)供電系統(tǒng),這些其中各模塊間互以數(shù)字通信鏈路互相連接。對(duì)于一種特殊應(yīng)用,等離子體應(yīng)用中多年來一直存在原料處理過程,例如等離子體沉積和噴涂。這些處理都需要供電系統(tǒng)。這樣的處理一般需要產(chǎn)生一個(gè)連接到等離子體腔的射頻(RF)信號(hào)或是高壓直流(DC)電源信號(hào)。產(chǎn)生電源信號(hào)通常需要對(duì)相對(duì)較高的電壓如直流270V進(jìn)行限幅和整流。限幅和整流過程會(huì)產(chǎn)生寄生電場(chǎng)及磁場(chǎng),這些寄生電磁場(chǎng)接入附近的電路會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電噪聲相...
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