技術(shù)編號(hào):7407660
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般意義上涉及工業(yè)供電系統(tǒng),特別涉及具有模塊化結(jié)構(gòu)的工業(yè)供電系統(tǒng),這些其中各模塊間互以數(shù)字通信鏈路互相連接。對(duì)于一種特殊應(yīng)用,等離子體應(yīng)用中多年來一直存在原料處理過程,例如等離子體沉積和噴涂。這些處理都需要供電系統(tǒng)。這樣的處理一般需要產(chǎn)生一個(gè)連接到等離子體腔的射頻(RF)信號(hào)或是高壓直流(DC)電源信號(hào)。產(chǎn)生電源信號(hào)通常需要對(duì)相對(duì)較高的電壓如直流270V進(jìn)行限幅和整流。限幅和整流過程會(huì)產(chǎn)生寄生電場(chǎng)及磁場(chǎng),這些寄生電磁場(chǎng)接入附近的電路會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電噪聲相...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。