技術(shù)編號(hào)：7385073
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。，屬于壓電驅(qū)動(dòng)。解決了現(xiàn)有壓電驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)方法在具備快速、大行程響應(yīng)能力的同時(shí)，難于兼具高精度、納米尺度定位功能這一突出問題。本方法基于多足旋轉(zhuǎn)壓電驅(qū)動(dòng)器的兩組彎振壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)的，并根據(jù)目標(biāo)輸出位移選擇三種激勵(lì)模式之一、兩種激勵(lì)模式的組合或者三種激勵(lì)模式的組合來實(shí)現(xiàn)不同位移尺度的輸出，所述激勵(lì)模式包括交流連續(xù)激勵(lì)模式、脈沖步進(jìn)激勵(lì)模式和直流微驅(qū)動(dòng)模式，使得驅(qū)動(dòng)器不僅具備快速、大行程響應(yīng)能力，同時(shí)具備高精度、納米尺度定位功能，最終實(shí)現(xiàn)真正的跨尺度、超精密驅(qū)動(dòng)...
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