技術(shù)編號:7356314
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適用于磁共振能量耦合的柔性多接收集成立體MEMS諧振子,采用MEMS平面工藝,在柔性聚合物材料襯底上制備多個諧振線圈,形成了金屬導(dǎo)線以斜線并排順次盤繞的形式構(gòu)成的多個電感,經(jīng)組裝形成三維立體諧振子;各電感具有完全相同的幾何尺寸與制備工藝,因此諧振頻率一致。由于本發(fā)明具備優(yōu)良的柔性,形狀易于變化的特點,因此可以組裝成任意形狀纏繞在微型醫(yī)療儀器的外殼上,有效的節(jié)約了植入式器件的體積。本發(fā)明所設(shè)計的線圈可利用電鍍軟磁磁性材料的方法集成設(shè)計同軸磁芯,...
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